http://patio-ir-master.com/de/tags/polyimid/ Recent content in Polyimid on Patio Infrared Heating Masters Hugo de Wed, 17 Jun 2026 11:24:52 +0800 http://patio-ir-master.com/de/posts/polyimide-curing-for-wafer-fab/ Wed, 17 Jun 2026 11:24:52 +0800 http://patio-ir-master.com/de/posts/polyimide-curing-for-wafer-fab/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Aushärten von Polyimiden in der Waferfertigung"></p> <p>In der Fertigungsstätte ist die Aushärtung des Polyimidmaterials kein Schritt, den man einfach abhaken kann. Es handelt sich dabei um einen thermischen Prozess, den man kontrollieren muss. Wenn man auch nur wenige Grad danebenliegt, führt das zu unvollständiger Planarisierung, schwacher Haftung oder Spannungen, die das Wafer verzerrn können. Bei den heutigen Prozessschritten gibt es keinen Raum für solche Fehler.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Für die Aushärtung des Polyimidmaterials ist eine stabile und wiederholbare Wärmeversorgung unerlässlich. Wir halten die Homogenität auf Waferebene bei ±0,1°C – damit das gesamte Material dieselbe Wärmeeinwirkung erhält. Die Kurzwellen-Infrarot-Heizung passt sich der Absorptionseigenschaft des Polyimidmaterials an, wodurch die Heizzeit verkürzt wird und es zu keinen Hotspots kommt.</p>