Infrarotheizer für Vakuumkammern

Fri, 17 Jul 2026 01:34:26 +0800

Hören Sie auf, die Vakuumkammer zu erhitzen!
Falls Sie schon einmal versucht haben, eine Wafer- oder Substratfläche in einer Vakuumkammer zu erhitzen, wissen Sie, wie schwierig das ist. Es ist ein ständiger Kampf darauf, die gewünschte Temperatur zu erreichen, ohne dabei versehentlich die Wände der Kammer zu verbrennen.

Herkömmliche Infrarotlampen funktionieren im Grunde wie Leuchtmittel – sie geben Wärme in alle Richtungen ab. In einer Vakuumumgebung prallt ein großer Teil dieser Energie einfach von den Innenseiten der Wände ab. Das ist nicht nur eine Verschwendung von Energie, sondern auch eine Belastung für die Geräte. Zudem wird die Außenseite des Geräts extrem heiß – was für die Personen, die in der Nähe stehen, gefährlich sein kann.

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Fri, 10 Jul 2026 01:43:27 +0800

Hören Sie auf, Ihre Vakuumkammer zu erhitzen – und heizen Sie stattdessen die Wafer auf.
Wenn Sie schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet haben, wissen Sie, welche Herausforderungen damit verbunden sind. Man muss die Wafer auf die richtige Temperatur bringen – doch man möchte nicht versehentlich die gesamte Kammer in einen Ofen verwandeln.

Herkömmliche IR-Lampen sind eher problematisch: Sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab. In einem Vakuum hat diese Energie keinen Ausweg – sie gelangt direkt in die Innenwände der Ausrüstung. Plötzlich fungiert das Gehäuse als riesiger Wärmeableiter – und die Arbeiter müssen mit erheblichen Verbrennungsgefahren rechnen.

Vakuum on Patio Infrared Heating Masters

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Vakuumkompatibler Infrarotheizer