http://patio-ir-master.com/de/tags/verarbeitung/ Recent content in Verarbeitung on Patio Infrared Heating Masters Hugo de Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/de/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/de/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Optischer Wafer Verarbeitungserhitzer"></p> <p>Auf der Lithografie-Etage läuft ein 300 mm Wafer im Takt der Linie vom Coat- zum Bake-Schritt. Softbake bei 90 °C, Hardbake bei 110 °C. Der Photoresist muss sich dabei von Charge zu Charge gleich verhalten. Wenn das thermische Profil driftet, zahlt man das sofort: CD-Verschiebungen, schlechte Haftung, Brückendefekte – anschließend Nacharbeit. Der Heizer ist nicht einfach eine weitere Box im Hintergrund. Er ist der Stellknopf für das thermische Budget des Photoresists.</p> <p>Optische Heizer für die Waferbearbeitung sind genau für diese Kontrolle ausgelegt. Sie liefern schnelles, berührungsloses oder kontaktarmes Heizen mit enger Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit, sodass der Bake-Schritt nicht zur Variabilitätsquelle wird.</p>