http://patio-ir-master.com/es/tags/%C3%B3ptico/ Recent content in Óptico on Patio Infrared Heating Masters Hugo es Sun, 31 May 2026 23:49:57 +0800 http://patio-ir-master.com/es/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:57 +0800 http://patio-ir-master.com/es/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Calentador para procesamiento óptico de obleas"></p> <p>En la planta de litografía, una oblea de 300 mm pasa de recubrimiento a horneado sincronizada con el takt de la línea. Horneado suave a 90 °C, horneado duro a 110 °C. El fotorresistente debe comportarse igual, lote tras lote. Cuando el perfil térmico se desvía, se paga en el acto: desplazamiento de CD, mala adhesión, defectos de puente, y luego retrabajo. El calentador no es solo una caja más en segundo plano. Es el control del presupuesto térmico del fotorresistente.</p>