Reemplazo de lámpara halógena RTP

Wed, 03 Jun 2026 01:23:10 +0800

En la planta de fabricación, una sola excursión térmica en la cámara RTP puede agotar tu presupuesto térmico en un instante. Los perfiles de fotoresistencia comienzan a desviarse. El control del ancho de línea se desestabiliza. El rendimiento se ve afectado. Diseñamos nuestro reemplazo de lámpara halógena para RTP con el fin de eliminar esa incertidumbre de la ecuación y entregar calor repetible, ciclo tras ciclo.

Esto es lo que hay bajo el capó. La lámpara utiliza emisores halógenos de onda corta dentro de un sobre de cuarzo, ajustados para una respuesta radiante rápida. Mapeamos la salida a lo largo del arreglo zonal para ajustar la geometría de la cámara, apuntando a una uniformidad a nivel de oblea de ±0.1°C. En sala limpia Clase 1–100, el diseño de baja emisión de gases evita picos en el recuento de partículas durante el horneado y el recocido. El aislamiento de fibra de carbono retiene el calor, reduce el consumo en modo espera y acorta los tiempos de rampa. La salida se mantiene estable durante más de 5,000 horas, con una deriva de intensidad inferior al 5%, por lo que el Cpk del proceso no se ve afectado.

Halógeno on Patio Infrared Heating Masters

Reemplazo de lámpara halógena RTP