دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده توسط لامپهای IR هدر برود؛ راهحل سادهای برای این مشکل وجود دارد.
مشکل لامپهای IR این است که آنها گرما را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی ۳۶۰ درجه از انرژی، به صورت بیفایده، از بین میرود.
وقتی که در صنعت تولید نیمههادی کار میکنیم، این موضوع واقعاً یک فاجعه است. اگر راهی برای هدایت این گرما وجود نداشته باشد، بخش عمدهای از آن به داخل دستگاه برخورد کرده و باعث گرم شدن بیش از حد دستگاه میشود. در نتیجه، قطعات دستگاه دچار مشکلات میشوند و کارکنان نیز در معرض خطر سوختگی قرار میگیرند. این وضعیت اصلاً مناسب نیست.
راهحل این مشکل، استفاده از آلومینیوم است.
ما از بازتابندههای آلومینیومی با خلوص بالا برای هدایت گرما استفاده میکنیم. آلومینیوم در بازتاب پرتوهای IR عملکرد خوبی دارد. با خم کردن فلز به شکل پارابولیک یا بیضوی، میتوانیم جلوی پراکندگی پرتوها را بگیریم و آنها را به سمت هدف مورد نظر هدایت کنیم.
به این ترتیب، منبع گرمایی بینظم، به یک پرتو دقیق تبدیل میشود.
در نتیجه، گرمای تولید شده فقط به ویفر برخورد میکند، در حالی که بقیه قطعات دستگاه سرد باقی میمانند. انرژی از برخورد با بدنه دستگاه جلوگیری میشود؛ این کار زندگی کارکنان را بسیار آسانتر میکند.
چند نکته مهم درباره ساختار فیزیکی دستگاه:
ما معمولاً از سطوح صیقلی یا آنودایز شده برای دستیابی به بهترین زاویه بازتاب استفاده میکنیم. آلومینیوم را به دلیل توانایی خود در تحمل گرما و سرما، بدون تغییر شکل، انتخاب میکنیم.
اما باید صادق باشیم؛ هیچ چیز ۱۰۰٪ کارآمد نیست. فلز همچنان بخشی از گرما را جذب خواهد کرد. اگر لامپهای با توان بالا را در فضای کوچکی قرار دهیم، باید به جریان هوا نیز توجه کنیم؛ نمیخواهیم که خود بازتابنده نیز گرم شده و مشکلاتی ایجاد کند.
موضوع اصلی، ایمنی است.
استفاده از بازتابنده فقط برای انجام کار سریعتر نیست؛ بلکه برای جلوگیری از مشکلات احتمالی نیز مهم است.
وقتی که انرژی را به درستی هدایت کنیم، سطح خارجی دستگاه در دمای مناسبی باقی میماند. نیازی نیست از عایقهای ضخیم یا فنهای بزرگ برای سرد کردن دستگاه استفاده کنیم. کافی است دستگاه را به درستی نصب کنیم و نقطه کانونی آن را با قطعه کار هماهنگ کنیم. این راهحل، راهحل سادهای برای مشکلات حرارتی است.