http://patio-ir-master.com/fa/tags/%D9%86%D9%88%D8%B1%DB%8C/ Recent content in نوری on Patio Infrared Heating Masters Hugo fa Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/fa/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/fa/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="گرمکننده پردازش ویفر نوری"></p> <p>در سالن لیتوگرافی، یک ویفر 300 میلی‌متری به صورت هماهنگ با تاکت خط از مرحله پوشش‌دهی به پخت منتقل می‌شود. پخت نرم در دمای 90 °C، پخت سخت در دمای 110 °C. فتورزیست باید در هر دسته به یک شکل رفتار کند. وقتی پروفایل حرارتی تغییر می‌کند، بلافاصله هزینه آن را می‌پردازید: تغییر در CD، چسبندگی ضعیف، نقص در پل‌ها—و سپس بازکاری. هیتر صرفاً یک جعبه در پس‌زمینه نیست؛ این کنترل‌کننده بودجه حرارتی فتورزیست است.</p> <p>هیترهای پردازش اپتیکی ویفر برای این کنترل طراحی شده‌اند. آن‌ها گرمایش سریع، با تماس کم یا بدون تماس، همراه با یکنواختی و تکرارپذیری دقیق ارائه می‌دهند، تا مرحله پخت به منبعی از تغییرپذیری تبدیل نشود.</p>