Galette on Patio Infrared Heating Masters

Cure du polyimide pour la fabrication de wafers

Wed, 17 Jun 2026 11:24:52 +0800

Sur le plan de production, la cuisson du polyimide n’est pas une étape que l’on peut simplement vérifier. Il s’agit plutôt d’un budget thermique qu’il faut gérer avec précision. Si l’on rate la température idéale, même de quelques degrés, cela entraîne une planarisation incomplète, une adhérence faible ou des contraintes mécaniques qui déforment la wafer. Avec les technologies actuelles, il n’y a pas de place pour de telles erreurs.

Ce qui est important en réalité La cuisson du polyimide nécessite une chaleur stable et répétable. Nous maintenons une uniformité de température de ±0,1°C sur toute la surface de la wafer, afin que toute la couche de polymère subisse les mêmes conditions thermiques, du bord à l’autre. Le chauffage par infrarouge à ondes courtes correspond à l’absorption du polyimide, ce qui permet de réduire le temps de cuisson tout en évitant l’apparition de points chauds.

Chauffage zoné pour la fabrication avancée de plaquettes

Mon, 08 Jun 2026 02:38:30 +0800

Sur la ligne de lithographie, une dérive de 0,3 °C à travers la plaquette pendant la cuisson douce peut déplacer le profil du photoresist de quelques nanomètres — et c’est la différence entre produire un bon rendement et générer des rebuts. Nous avons conçu un chauffage zoné pour les fonderies avancées afin d’éliminer cette incertitude.

Ce qui compte, techniquement
Le système utilise des émetteurs en quartz halogène à ondes courtes avec contrôle indépendant par zone, ce qui permet une réponse rapide et maintient une uniformité au niveau de la plaquette à ±0,1 °C sur une plage de consigne allant de 90 °C à 250 °C. La répétabilité de cycle en cycle est de ±0,05 °C, ce qui garantit que les étapes critiques de cuisson — cuisson douce, cuisson dure et cuisson post-exposition — restent dans les tolérances sans avoir à compenser des variations.