Cure du polyimide pour la fabrication de wafers

Wed, 17 Jun 2026 11:24:52 +0800

Sur le plan de production, la cuisson du polyimide n’est pas une étape que l’on peut simplement vérifier. Il s’agit plutôt d’un budget thermique qu’il faut gérer avec précision. Si l’on rate la température idéale, même de quelques degrés, cela entraîne une planarisation incomplète, une adhérence faible ou des contraintes mécaniques qui déforment la wafer. Avec les technologies actuelles, il n’y a pas de place pour de telles erreurs.

Ce qui est important en réalité La cuisson du polyimide nécessite une chaleur stable et répétable. Nous maintenons une uniformité de température de ±0,1°C sur toute la surface de la wafer, afin que toute la couche de polymère subisse les mêmes conditions thermiques, du bord à l’autre. Le chauffage par infrarouge à ondes courtes correspond à l’absorption du polyimide, ce qui permet de réduire le temps de cuisson tout en évitant l’apparition de points chauds.

Polyimide on Patio Infrared Heating Masters

Cure du polyimide pour la fabrication de wafers