http://patio-ir-master.com/fr/tags/tranche/ Recent content in Tranche on Patio Infrared Heating Masters Hugo fr Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/fr/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/fr/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Chauffage pour le traitement optique des plaquettes"></p> <p>Sur la ligne de lithographie, une plaquette de 300 mm passe du dépôt au cuisson en synchronisation avec le takt de la ligne. Cuisson douce à 90 °C, cuisson dure à 110 °C. La résine photosensible doit se comporter de façon identique, lot après lot. Lorsque le profil thermique dérive, cela se paie immédiatement : décalage de CD, mauvaise adhérence, défauts de pontage — puis retouche. Le chauffage n’est pas simplement un élément secondaire. C’est le réglage principal du budget thermique de la résine photosensible.</p>