http://patio-ir-master.com/he/tags/%D7%90%D7%95%D7%A4%D7%98%D7%99/ Recent content in אופטי on Patio Infrared Heating Masters Hugo he Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/he/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/he/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מחמם לעיבוד וופרים אופטיים"></p> <p>ברצפת הליתוגרפיה, וופר בקוטר 300 מ&quot;מ זורם מתהליך הציפוי לתהליך האפייה בקצב תואם את הטקט של הקו. אפייה רכה בטמפרטורה של 90 ℃, אפייה קשה ב-110 ℃. הפוטורזיסט חייב להתנהג באותה צורה, מחתיכה לחתיכה. כאשר הפרופיל התרמי סטה, משלמים על כך מיד: סטיית CD, הידבקות לקויה, פגמים בגשרים—ואז עבודת תיקון. המחליף חום אינו רק עוד תיבה ברקע. הוא כפתור הבקרה על תקציב החום של הפוטורזיסט.</p> <p>מחממי עיבוד וופרים אופטי בנויים לשם בקרה זו. הם מספקים חימום מהיר, במגע נמוך או ללא מגע, עם אחידות הדוקה וחזרתיות גבוהה, כך ששלב האפייה אינו הופך למקור לשונות בתהליך.</p>