लैंपों की खराबी के कारण अपने वेफरों को न खोएं।
यदि आप उच्च मात्रा में वेफरों का उत्पादन कर रहे हैं, तो आपको इस समस्या का अहसास होगा। लैंप खराब हो जाता है… बस, इतना ही।
लेकिन यदि क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाए, तो स्थिति गंभीर हो जाती है। काँच के टुकड़े एवं हैलोजन गैस हर जगह फैल जाते हैं, जिससे वेफर खराब हो जाते हैं। यह तो एक बड़ी आपदा है।
हमने ऐसी स्थितियों से बचने हेतु विशेष आईआर लैंप बनाए हैं।
क्वार्ट्ज ट्यूबों की सुरक्षा हेतु “सुरक्षा उपाय”
हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज ट्यूबों का ही उपयोग करते हैं… ऐसे ट्यूब जिनकी दीवारें ऊष्मा-झटकों को सहन कर सकें। लेकिन हमने यहीं नहीं रुके।
हमने ट्यूबों को ऊष्मा-प्रतिरोधी, रासायनिक रूप से निष्क्रिय कवरों में लपेट दिया। यह तो एक तरह का “सुरक्षा कवच” ही है। यदि फिलामेंट खराब हो जाए, तो यह कवर टूटे हुए टुकड़ों को रोक देता है। ऐसे में आपको तो लैंप बदलना ही पड़ेगा, लेकिन आपके वेफर सुरक्षित रहेंगे। यही तो इस उपाय का लाभ है।
ऊष्मा संबंधी समस्याएँ
उच्च वोल्टेज वाले लैंपों का उपयोग करने से बहुत अधिक ऊष्मा पैदा होती है… यह तो एक बड़ी समस्या है।
यदि आप तापमान जल्दी ही प्राप्त करने हेतु वोल्टेज बढ़ा दें, तो फिलामेंट खराब हो जाएगा… ऐसे में लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा। अपने पावर सप्लाई को लैंप के निर्धारित वोल्टेज के अनुरूप ही सेट करें… ऐसा करने से आपके हार्डवेयर को लाभ होगा।
सुरक्षित कनेक्शन ही आवश्यक है
हम मानकीकृत कनेक्टरों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ढीले कनेक्शन से समस्याएँ पैदा होती हैं। ढीले कनेक्शन के कारण आर्किंग होती है… जिससे सॉकेट खराब हो जाते हैं, एवं ट्यूब के छोर टूट जाते हैं।
एक और सुझाव… लैंप खराब होने का इंतज़ार मत करें… अपने ऑपरेशन समय के आधार पर ही लैंप बदलने की योजना बनाएं। ऐसा करने से उत्पादन के दौरान होने वाली समस्याओं से बचा जा सकता है।
एक छोटी सी समस्या…
चूँकि यह सुरक्षा कवर लैंप के कार्य में बाधा डालता है, इसलिए आईआर विकिरण में थोड़ी कमी आ जाती है… ऐसे में तापमान में भी थोड़ी कमी आ जाती है।
इस समस्या को दूर करने हेतु, वोल्टेज को 5-10% बढ़ा दें… या वेफरों को थोड़ा अधिक समय तक उसी स्थिति में रखें। यह तो एक छोटा सा सुधार है… लेकिन ऐसा करने से आपका क्लीन रूम वास्तव में स्वच्छ ही रहेगा।