http://patio-ir-master.com/hi/tags/%E0%A4%AA%E0%A5%8D%E0%A4%B0%E0%A4%95%E0%A4%BE%E0%A4%B6%E0%A5%80%E0%A4%AF/ Recent content in प्रकाशीय on Patio Infrared Heating Masters Hugo hi Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/hi/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/hi/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ऑप्टिकल वेफर प्रोसेसिंग हीटर"></p> <p>लिथोग्राफी फ्लोर पर, 300 mm वेफर लाइन के टैक्ट के साथ कोट से बेक तक लॉकस्टेप में बहता है। सॉफ्ट बेक 90 °C पर, हार्ड बेक 110 °C पर। फोटोरेज़िस्ट को समान व्यवहार करना होता है, लॉट दर लॉट। जब थर्मल प्रोफाइल डिफ्ट करता है, तो उसका तुरंत नुकसान होता है: CD शिफ्ट, खराब चिपकना, ब्रिज दोष—फिर रीवर्क। हीटर केवल पृष्ठभूमि में एक और बॉक्स नहीं है। यह फोटोरेज़िस्ट थर्मल बजट का नियंत्रण घुमाव है।</p> <p>ऑप्टिकल वेफर प्रोसेसिंग हीटर उस नियंत्रण के लिए बनाए जाते हैं। वे तेज़, कम संपर्क या गैर-संपर्क हीटिंग प्रदान करते हैं, जिसमें कड़ा एकरूपता और पुनरावृत्ति होती है, ताकि बेक चरण विविधता का स्रोत न बने।</p>