http://patio-ir-master.com/id/tags/optik/ Recent content in Optik on Patio Infrared Heating Masters Hugo id Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/id/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/id/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Pemanas pemrosesan wafer optik"></p> <p>Di lantai litografi, wafer 300 mm mengalir dari proses coating ke baking sesuai dengan takt line. Soft bake pada 90 °C, hard bake pada 110 °C. Photoresist harus berperilaku konsisten, lot demi lot. Ketika profil termal bergeser, konsekuensinya langsung terasa: pergeseran CD, adhesi buruk, cacat jembatan—lalu harus rework. Heater bukan sekadar kotak di latar belakang. Ia adalah pengatur utama anggaran termal photoresist.</p> <p>Heater pemrosesan wafer optik dibuat untuk kontrol tersebut. Mereka memberikan pemanasan cepat dengan kontak rendah atau tanpa kontak, dengan keseragaman dan keterulangan yang ketat, sehingga langkah baking tidak menjadi sumber variabilitas.</p>