Sostituzione della lampada alogena RTP

Wed, 03 Jun 2026 01:23:11 +0800

Sulla linea di produzione, una singola escursione termica nella camera RTP può azzerare il budget termico in un attimo. I profili del photoresist iniziano a deviare. Il controllo della larghezza linea va fuori tolleranza. La resa ne risente. Abbiamo sviluppato la nostra sostituzione della lampada alogena per RTP per eliminare questa incertezza e fornire calore ripetibile, ciclo dopo ciclo.

Ecco cosa c’è sotto il cofano. La lampada utilizza emettitori alogeni a onde corte all’interno di un involucro in quarzo, ottimizzati per una risposta radiante veloce. Mappiamo l’emissione sull’array delle zone per adattarla alla geometria della camera, puntando a un’uniformità a livello wafer di ±0,1°C. In cleanroom Classe 1–100, il design a bassa emissione di gas mantiene sotto controllo il conteggio particellare durante la fase di bake e anneal. L’isolamento in fibra di carbonio trattiene il calore, riduce il consumo in standby e abbrevia i tempi di rampa. L’emissione rimane stabile per oltre 5.000 ore, con una deriva di intensità inferiore al 5%, evitando penalizzazioni nel Cpk del processo.

Alogeno on Patio Infrared Heating Masters

Sostituzione della lampada alogena RTP