Riscaldatore per fabbrica di chip di calcolo quantistico

Thu, 04 Jun 2026 00:51:09 +0800

Out on the fab floor, la resa dei chip quantistici dipende interamente dal profilo termico. Una variazione di pochi decimi di grado su tutta la wafer durante il bake del photoresist è sufficiente a compromettere overlay e controllo CD—e così si bruciano substrati costosi e pianificazioni di produzione. Abbiamo progettato il riscaldatore per fab di chip di quantum computing per mantenere la temperatura sotto controllo.

Ecco i dati rilevanti. Mantiene l’uniformità a livello wafer entro ±0,1°C nella zona attiva, con una ripetibilità del setpoint migliore di ±0,05°C. Gli emettitori al quarzo alogeni garantiscono una risposta rapida e pulita sia per soft bake che per hard bake, e la struttura del riscaldatore è compatibile con ambienti cleanroom Classe 1–100.

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Riscaldatore per fabbrica di chip di calcolo quantistico