Essiccazione della poliimide per la produzione di wafer

Wed, 17 Jun 2026 11:24:52 +0800

Nelle linee di produzione, la polimerizzazione del poliimide non è un passaggio che si può semplicemente “verificare”. Si tratta invece di un processo termico che va gestito con attenzione. Se si devia anche solo di pochi gradi dalla temperatura ottimale, si rischia una polimerizzazione incompleta, un’adesione scarsa o stress che possono causare distorsioni nel wafer. Nei processi di oggi, non c’è spazio per errori di questo tipo.

Cosa è importante realmente
La polimerizzazione del poliimide richiede una temperatura stabile e ripetibile. Manteniamo l’uniformità della temperatura su tutto il wafer entro ±0,1°C, in modo che tutto il film subisca lo stesso trattamento termico, dal bordo all’altro. Il riscaldamento a onde infrarosse a breve lunghezza d’onda è ottimizzato per soddisfare le esigenze del poliimide, riducendo così i tempi di riscaldamento e evitando la formazione di zone troppo calde.

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Essiccazione della poliimide per la produzione di wafer