カーボンクリスタルヒーター
冬は妥協を許しません。空気が冷たくなると、エアヒーターを使っても、部屋が快適になるのを待たなければなりません。私たちは、その待ち時間をなくすためにカーボンクリスタルヒーターを開発しました。そうすれば、必要な瞬間にすぐに快適さが得られます。
実際の仕組み 心臓部となるのは、強力な赤外線を放出するカー...
3Dフレーム式電気ヒーター
太陽が沈み、空気が冷たくなっても、夕暮れ時は終わりにする必要はありません。3Dフレーム式の電気ヒーターを使えば、屋外のスペースも暖かく照らされ続けます。そうすれば、震えることなく、面倒な操作もせずにゆっくり過ごすことができます。
実際にはどのように動いているのか？ このヒーターは赤外線ヒーターを使...
フォトレジスト用に最適な赤外線ランプ
リソグラフィーの工程においては、焼成温度が1℃変動するだけで、回路の寸法にナノメートル単位の誤差が生じます。これだけでも、気づく前に大量のウェーハが廃棄されてしまうことになります。ソフトベイクではフォトレジストの形状を決定し、ハードベイクではその形状を固定します。しかし、ウェーハ全体にわたって均一...
セラミック式赤外線ヒーターパネル
ウェーハの表面では、適切な温度プロファイルによってフォトレジストの寸法や側壁の形状が決定されます。わずか0.5度の温度変動でも、エッチング時に線幅のばらつきが生じてしまいます。私たちは、このようなばらつきを排除するために、セラミック製の赤外線ヒーターパネルを開発しました。
このヒーターのコアは、高...
パッケージング工場に出す前の半導体の乾燥
パッケージング工場では、歩留まりを下げる要因として、清掃後に残った水分や、十分に硬化していないフォトレジストが挙げられます。閉じ込められた水分は、封止剤が加熱されるとポップコーン状の欠陥を引き起こします。また、十分に硬化していないフォトレジストは、ダイシングの際に表面が傷つき、微細なスクラッチが生...
偽のファイヤーヒーター
ベビーラウンジでは、ヒーターのかすかな音でさえも邪魔に感じられます。特に床が冷たい場合はそうです。空気を取り込んで加熱し、再び外に送り出す従来のヒーターは、部屋を湿気なく乾燥した状態にしてしまいます。新生児が隣で眠っているときには、これは最悪のことです。私たちは、空気ではなく、人や物を温めることで...
タオル掛け用ヒーター
シャワーを浴びた直後の、最初の寒さは特に厳しいものです。冷たいタオルは、気分を害するだけでなく、せっかく得た温かさも奪ってしまいます。そんな時のために、私たちは迅速に温めてくれ、安定した温度を保つタオルハンガーヒーターを開発しました。
内部の仕組み 内部には、低温で高効率な電気ヒーターが搭載されて...
デジタルサーモスタットヒーター
半オープン型の廊下というのは、快適に保つのが難しい場所です。両端から風が吹き込み、人々が行き来するたびにドアが開閉し、太陽が建物の向こう側に隠れるとすぐに暖かさがなくなってしまいます。従来のヒーターは、人が多い時は過度に加熱され、人がいなくなると寒くなってしまい、エネルギーコストを増大させるだけで...
タッチスクリーンヒーター
想像してみてください。照明が消え、プロジェクターの音が聞こえ、部屋が静まり返ります。しかし、強制送風式のヒーターが動き出し、騒音が発生すると、映画の世界から現実に戻されてしまいます。これこそが、私たちがこのタッチスクリーン式赤外線ヒーターを開発した理由です。ホームシアターでは、映像と同じくらい音声...
ブルートゥース式電気ヒーター
10年前、私たちは裏方の存在でした。他社の製品のために、クォーツチューブを使って加熱処理を行ったり、カーボンファイバー要素を調整したりしていました。今では、その技術を活かして、実際に生活の中で使えるヒーターを作っています。それは、Bluetooth制御機能を備えた電気式の赤外線ヒーターで、操作も簡...
高耐久性の電気ヒーター
地下室の湿気は、骨や家具、さらには壁にまで影響を与えます。通常のヒーターは空気だけを温めるだけで、その湿気やカビの問題を解決することはできません。必要なのは、温度計の数値以上に、体に直接届く暖かさです。
内部構造が重要 この頑丈な電気ヒーターは、赤外線による放射熱を利用しています。クォーツ素子を使...
吊り下げ式のパティオヒーター
太陽が沈むと、その鋭い夕方の寒さを感じます。そして、あの馴染みのあるペットヒーターの音も、まるでお金が無駄になっていくように聞こえます。確かに暖かさは欲しいですが、次の電気代の請求額に驚かされたくはありません。これが、実際に赤外線加熱機能を持つペットヒーターを使う際の課題です。
実際に重要なのは何...
B2Bウェーハ製造用資材
300mmウェーハの場合、フォトレジストを焼成する際に2°Cのズレがあっても問題にはなりません。ただし、それによって線幅に変動が生じたり、不良品が出たり、朝7時時点での歩留まりが悪くなったりします。熱安定性は単なる付加的な要素ではなく、プロセスそのものです。
実際に重要なのは何か 私たちが開発した...
ウェーハ製造用ポリイミド硬化処理
製造現場において、ポリイミドの硬化処理は単なるチェック項目ではありません。それは管理すべき温度条件です。数度でも目標温度から外れてしまうと、平坦化が不十分になったり、接着力が低下したり、ウエハーが変形してしまったりします。今日の微細加工技術では、そのような誤差は許されません。
重要なのは内部の仕組...
ファブIRランプ用クォーツスリーブ
ファブフロアでは、手順はお分かりでしょう。90℃でのソフトベークがたった0.5℃のずれでもフォトレジストプロファイルを狂わせ、CD制御を損ないます。IRランプの周りのクォーツスリーブは単なるカバーではなく、各ベークステップでの再現性を確保するための熱インターフェースです。
重要な内部要素 これらの...