クリーンルーム用赤外線ヒーター

機械の壁を加熱するのはやめましょう。 半導体製造装置を扱ったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。装置の内部を高温に保つ必要がありますが、装置全体が巨大なラジエーターのようになってしまっては困ります。一般的な対流式ヒーターは、エネルギーをあちこちに放出してしまうため、作業員が火傷を負った...