http://patio-ir-master.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AC%E3%82%B8%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in フォトレジスト on Patio Infrared Heating Masters Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 02:44:26 +0800 http://patio-ir-master.com/ja/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Mon, 29 Jun 2026 02:44:26 +0800 http://patio-ir-master.com/ja/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="フォトレジスト用に最適な赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、焼成温度が1℃変動するだけで、回路の寸法にナノメートル単位の<a href="https://goldisgood.com">誤差</a>が生じます。これだけでも、気づく前に大量のウェーハが廃棄されてしまうことになります。ソフトベイクではフォトレジストの形状を決定し、ハードベイクではその形状を固定します。しかし、ウェーハ全体にわたって均一な加熱が行われない限り、どちらも効果はありません。</p> <p><strong>重要なのは内部の仕組みです</strong><br> 私たちは、フォトレジストの焼成に使用する赤外線ランプとして、石英製のケースに入った短波長のNIRランプを採用しています。これにより、基板への負荷を最小限に抑えつつ、迅速かつ局所的な加熱が可能になります。焼成エリア全体での温度のばらつきは±0.1℃以内であり、この数値は温度センサーによって計測されます。クリーンルーム内での条件も設計段階で考慮されており、発ガス量が少ない材料や、クラス1～100に適合した包装が使用されています。また、安定状態になれば粒子の発生もありません。このシステムは、厳格な許容範囲内で設定値を維持するため、各種ベイク処理も適切に行われます。エネルギー消費もパルス制御や反射板を使って管理され、出力が安定しながらも熱量は低く抑えられます。</p>