http://patio-ir-master.com/ja/tags/%E5%87%A6%E7%90%86/ Recent content in 処理 on Patio Infrared Heating Masters Hugo ja Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/ja/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/ja/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="光学ウェーハ処理ヒーター"></p> <p>リソグラフィ工程のフロアでは、300 mmウェハがコートからベイクへとラインのタクトに合わせて連動して流れる。ソフトベイクは90 ℃、ハードベイクは110 ℃で行う。フォトレジストはロットごとに同じ<a href="https://henruite.com">挙動</a>を示さなければならない。熱プロファイルがずれると、その場で代償を払うことになる：CDシフト、接着不良、ブリッジ欠陥、そして再作業へとつながる。ヒーターは単なる背景の箱ではなく、フォトレジストの熱予算を制御するノブである。</p>