半導体 on Patio Infrared Heating Masters

半導体ヒーター用テフロン線

Fri, 24 Jul 2026 09:09:52 +0800

もうオーブンを待つのはやめましょう：半導体処理においてIR加熱がなぜ強制空気循環より優れているのか
多くの半導体製造業者が、従来の強制空気循環方式を捨てようとしていることに気づきました。
強制空気循環方式の問題点は、その遅さです。ウェハーが温度変化を感じる前に、チャンバー内のすべての空気を温める必要があります。これは非常に非効率的です。時間の半分は、単に温度が上がるのを待つだけに費やされてしまいます。
一方、IR加熱は全く異なります。
空気を温める代わりに、赤外線はエネルギーを直接基板上に送り込みます。これは、部屋が暖まるのを待つのと、直射日光の下にいるのと同じです。
温度上昇にかかる時間は数分から数秒に短縮されます。これは大きなメリットです。つまり、追加の機械を設置することなく、より多くのウェハーを処理できるのです。
しかし、適当な配線を使ってはいけません。
このような高い熱密度の状況では、通常のPVCやシリコン系の絶縁材はすぐに破壊されてしまいます。そのため、私たちはテフロンコーティングされた配線を使用します。これにより、配線をエミッターの近くに配置して、全体をコンパクトに保つことができます。
正直に言うと、これは魔法の杖ではありません。
赤外線は直線的に進みます。部品の形状が複雑だったり、深い部分がある場合、赤外線が届かない「寒い場所」ができてしまいます。そのため、ランプの配置や反射板の角度を丁寧に調整する必要があります。
もしあなたがエンジニアなら、この高速性とエネルギー節約の効果は無視できないでしょう。
ただし、電源にも注意が必要です。IRランプは、ゆっくりと温度が上がる抵抗式ヒーターよりも、はるかに大きな電流を必要とします。適切な電源を用意し、高耐熱性のテフロン製の配線を使用すれば、加熱回路の最大の弱点を解消できます。

半導体用の金コーティング赤外線ランプ

Sat, 11 Jul 2026 04:55:08 +0800

より良い半導体硬化処理の秘訣：金コーティングされた赤外線ランプ
業界では、鉛を含まない、環境に優しい硬化処理が求められています。それは素晴らしいことですが、実際に機械を操作する人々にとっては悩みの種となります。
ほとんどの工場では依然として対流式オーブンを使用しており、これは基本的に大きなヒーターであり、部屋の空気を温めるだけで大量のエネルギーが消費されてしまいます。これは非効率的です。だからこそ、私たちは金コーティングされた赤外線ランプを採用しています。空気を温めるのではなく、エネルギーを直接基板に向けて照射します。直接的で、迅速で、シンプルです。

パッケージング工場に出す前の半導体の乾燥

Sat, 27 Jun 2026 01:23:17 +0800

パッケージング工場では、歩留まりを下げる要因として、清掃後に残った水分や、十分に硬化していないフォトレジストが挙げられます。閉じ込められた水分は、封止剤が加熱されるとポップコーン状の欠陥を引き起こします。また、十分に硬化していないフォトレジストは、ダイシングの際に表面が傷つき、微細なスクラッチが生じてしまい、最終的にはスクラップとなってしまいます。必要なのは、薄膜に負担をかけずに水分を取り除き、かつフォトレジストの状態を正確に制御できる加熱処理です。