http://patio-ir-master.com/ja/tags/%E6%8A%95%E7%A8%BF/ Recent content in 投稿 on Patio Infrared Heating Masters Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://patio-ir-master.com/ja/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://patio-ir-master.com/ja/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="CMP後ウェーハ乾燥ヒーター"></p> <p>ファブフロアでは、CMP後のわずかな水跡が<a href="https://goldisgood.com">歩留</a>まりを大きく損なう。従来の乾燥工程では微小な液滴が残留するか、粒子を巻き上げて次のリソグラフィ工程の障害要因となる。そこで当社は、損失が生じる最初の段階で食い止めるため、Post-CMPウェハ乾燥用ヒーターを開発した。</p> <p><strong>内部の重要要素</strong><br> ウェハへは短波長赤外線エミッターを照射し、ウェハ全体にわたってサブミリメートル単位の熱均一性を実現している。温度は±0.1℃以内に厳密に管理され、バッチ間の再現性が確保されている。装置はClass 1–100クリーンルーム内で稼働し、乾燥サイクル中の粒子発生はゼロに抑えられている。再現性は付加的な仕様ではなく、設計段階から組み込まれている。</p>