http://patio-ir-master.com/ja/tags/%E8%A2%96/ Recent content in 袖 on Patio Infrared Heating Masters Hugo ja Wed, 10 Jun 2026 01:45:41 +0800 http://patio-ir-master.com/ja/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Wed, 10 Jun 2026 01:45:41 +0800 http://patio-ir-master.com/ja/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ファブIRランプ用クォーツスリーブ"></p> <p>ファブフロアでは、<a href="https://o-yate.com">手順</a>はお分かりでしょう。90℃でのソフトベークがたった0.5℃のずれでもフォトレジストプロファイルを狂わせ、CD制御を損ないます。IRランプの周りのクォーツスリーブは単なるカバーではなく、各ベークステップでの再現性を確保するための熱インターフェースです。</p> <p><strong>重要な内部要素</strong> これらのスリーブは、短波および中波IRランプ用に仕様化されており、均一かつ迅速なウエハ加熱に必要なスペクトルにマッチしています。材料は高純度のフューズドクォーツで、強いNIR透過率とクラス1〜100のクリーンルームでの低アウトガスを考慮して選ばれています。目標は、ベーク面全体でのウエハレベルの熱均一性±0.1℃で、ライン幅の変動を抑え、再作業を削減します。</p>