IR on Patio Infrared Heating Masters

赤外線ランプ用アルミニウム反射板

Sun, 26 Jul 2026 13:08:52 +0800

熱の無駄遣いをやめよう：IRランプの簡単な解決法
IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。つまり、360度全方位にエネルギーが散逸してしまいます。半導体製造の現場では、これは大変な問題です。その熱を適切に制御できなければ、その熱のほとんどが装置の内部に当たってしまいます。その結果、装置のケースが過熱し、部品が損傷し、作業員の手も火傷の危険にさらされます。これは理想的ではありません。

IRエミッタ用セラミックエンドキャップ

Wed, 15 Jul 2026 13:43:14 +0800

ガラスの破片を防ぐ：IRランプの故障対処法

半導体ウェーハの加工に従事している人なら、その状況をよく知っているでしょう。高負荷の処理を行っている最中に、突然IRランプが壊れてしまうのです。
停止時間だけが問題ではありません。それに続くのは悪夢のような状況です。石英管が壊れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぎます。完全に散乱状態になります。
だからこそ、私たちはセラミック製のエンドキャップを使用するのです。
実際の動作原理
石英は熱を受けると膨張したり収縮したりします。高い電力が流れると、電極と石英管が接する部分に大きな負荷がかかります。そこが通常、破損する箇所です。
私たちは、高純度のセラミック製のキャップをそこに設置し、電気的な接続部分を石英管から分離します。これはまるで安全壁のようなものです。もし石英管が割れても、セラミック製のケースが破片を受け止めてくれるので、ランプが処理室の中に崩れ落ちるのを防ぎます。
安定した動作の実現
私たちは、過酷な温度変化にも耐えられるように、このエミッターを設計しています。セラミックはそのような激しい温度変化にも耐えられるので、端子部分でのアーク発生を防げます。
フリッカーもなく、早期の故障もありません。安定して、清潔な電気回路が得られます。
ただし、デメリットもあります。セラミック製のキャップを使うと、エミッターの長さが少し増えてしまいます。そのため、ランプのケースに十分な余裕がある必要があります。もし石英管を密着させすぎると、新たなストレス点が生じ、セラミック製キャップの目的が無駄になってしまいます。
歩留まりへの影響
結局のところ、重要なのはウェーハです。ガラスの破片が装置内に落ちないようにすれば、汚染を未然に防ぐことができます。クリーンルームも清潔な状態が保たれ、チャンバーの清掃に費やす時間も大幅に削減されます。そうすれば、潜在的な災害を迅速に解決できます。石英管を交換し、周辺を清掃すれば、再び生産を続けることができます。シンプルです。

ウェーハ用精密IRセンサー

Sun, 12 Jul 2026 05:43:06 +0800

シャードの発生を防ぐ：なぜIRランプの設計が重要なのか

高負荷の半導体製造過程でIRランプが破損する経験がある人なら、その恐怖をよく知っているはずです。それは本当に最悪な状況です。
問題は単に生産が止まるだけではありません。割れたクォーツ管の破片や金属の粉がウェハーの表面に散らばり、その結果、ウェハーは廃棄処分され、チャンバーの清掃には何時間、場合によっては数日もかかってしまいます。
私たちは、このような事態を防ぐ方法を長年研究してきました。

ファブIRランプ用クォーツスリーブ

Wed, 10 Jun 2026 01:45:41 +0800

ファブフロアでは、手順はお分かりでしょう。90℃でのソフトベークがたった0.5℃のずれでもフォトレジストプロファイルを狂わせ、CD制御を損ないます。IRランプの周りのクォーツスリーブは単なるカバーではなく、各ベークステップでの再現性を確保するための熱インターフェースです。

重要な内部要素 これらのスリーブは、短波および中波IRランプ用に仕様化されており、均一かつ迅速なウエハ加熱に必要なスペクトルにマッチしています。材料は高純度のフューズドクォーツで、強いNIR透過率とクラス1〜100のクリーンルームでの低アウトガスを考慮して選ばれています。目標は、ベーク面全体でのウエハレベルの熱均一性±0.1℃で、ライン幅の変動を抑え、再作業を削減します。