http://patio-ir-master.com/ko/tags/%EA%B2%8C%EC%8B%9C%EB%AC%BC/ Recent content in 게시물 on Patio Infrared Heating Masters Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="CMP 후 웨이퍼 건조 히터"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>현장에서는 CMP 후 단 한 개의 워터 마크만으로도 수율에 심각한 영향을 미칠 수 있다. 기존 건조 방식은 미세한 물방울을 남기거나 입자를 재부유시켜 이후 리소그래피 공정을 오염시킨다. 우리는 이러한 손실이 시작되는 지점에서 바로 차단하기 위해 Post-CMP 웨이퍼 건조 히터를 개발했다.</p>