선형 적외선 가열 방출기

팹 플로어에서는 열 변동이 단순한 비효율이 아니라 수율 저하 요인이다. 소프트 베이크가 1도만 벗어나도 포토레지스트 두께가 넓게 퍼지고, 불완전한 드라이 과정에서는 잔류 수분이 패턴 무결성을 저해한다. 선형 적외선(IR) 가열 발산기는 제어 가능한 에너지를 직접 목표...