IR 에미터용 세라믹 엔드캡

Wed, 15 Jul 2026 13:43:14 +0800

유리 조각이 떨어지는 것을 막아보세요: IR 램프 고장 대처법
반도체 웨이퍼를 다루는 사람이라면 누구나 그 불안함을 잘 알고 있습니다. 고부하의 작업을 진행하는 중에 갑자기 IR 램프가 고장 나버리는 것입니다.
문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다. 정말 엉망진창이 되는 것입니다.
그래서 우리는 세라믹으로 만든 커버를 사용합니다.
실제 작동 원리
석영은 열을 받으면 팽창하고 수축합니다. 고전력을 가할 때 전극과 석영관이 만나는 부분에 큰 부담이 가해집니다. 바로 그 부분에서 석영관이 깨지는 것입니다.
우리는 고순도 세라믹 커버를 사용하여 전기 연결 부분을 석영관과 분리시킵니다. 마치 안전 장벽과 같은 역할을 하는 셈입니다. 석영관이 깨져도 세라믹 커버가 그 파편들을 막아줍니다. 그렇게 하면 램프가 공정실 안으로 무너지는 것을 방지할 수 있습니다.
안정적인 작동을 위해
우리는 이러한 발광체를 설계할 때 엄청난 열에도 견딜 수 있도록 합니다. 세라믹은 극심한 온도 변화에도 깨지지 않으며, 그 덕분에 단자 부분에서의 문제도 발생하지 않습니다.
더 이상 깜빡임도 없고, 조기 손상도 없습니다. 오직 안정적이고 깨끗한 전기 회로만 존재합니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 이러한 커버 때문에 발광체의 길이가 조금 늘어납니다. 따라서 램프의 구조가 충분히 여유롭도록 해야 합니다. 석영관을 너무 꽉 끼워넣으면 새로운 스트레스 지점이 생기고, 결국 세라믹 커버의 목적이 무용지물이 됩니다.
생산성에 미치는 영향
결국 중요한 것은 웨이퍼의 상태입니다. 유리 조각이 공정실 안으로 들어오는 것을 막으면, 오염을 사전에 방지할 수 있습니다. 그렇게 하면 클린룸도 깨끗하게 유지됩니다. 공정실을 청소하는 데 드는 시간도 줄어들고, 실제 제품 생산에 더 많은 시간을 할애할 수 있습니다.
이렇게 하면 잠재적인 재앙을 신속하게 해결할 수 있습니다. 석영관을 교체하고, 해당 부분을 청소한 다음 다시 공정을 시작하면 됩니다. 간단합니다.

세라믹 적외선 히터 패널

Sun, 28 Jun 2026 01:25:31 +0800

웨이퍼가 놓이는 표면에서는, 적절한 온도 프로파일이 포토레지스트의 치수와 측벽 형태를 안정적으로 유지시켜 줍니다. 온도가 0.5도만 변해도 선의 너비에 오차가 생기게 되며, 이는 에칭 과정에 직접적인 영향을 미칩니다. 저희는 이러한 변수들을 없애기 위해 특수한 세라믹형 적외선 히터를 개발했습니다.

세라믹 on Patio Infrared Heating Masters

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