http://patio-ir-master.com/ko/tags/%EC%A0%95%EB%B0%80%EB%8F%84/ Recent content in 정밀도 on Patio Infrared Heating Masters Hugo ko Sun, 12 Jul 2026 05:43:08 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Sun, 12 Jul 2026 05:43:08 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼용 고정밀 IR 센서"></p> <h1 id="파편-발생을-막아야-하는-이유-왜-ir-램프의-설계가-중요한가">파편 발생을 막아야 하는 이유: 왜 IR 램프의 설계가 중요한가</h1> <p>고부하 상태에서 반도체 공정을 진행할 때 IR 램프가 파손된 경험이 있다면, 그 끔찍한 상황을 잘 알 것입니다. 정말 공포스러운 경험이죠.<br> 문제는 단순히 생산이 중단되는 것만이 아닙니다. 깨진 석영관으로 인해 웨이퍼 표면이 유리 조각과 금속 가루로 뒤덮이게 됩니다. 이 경우 웨이퍼는 즉시 폐기되어야 하며, 챔버를 깨끗하게 청소하는 데 수 시간, 혹은 며칠이 걸립니다.<br> 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 많은 노력을 기울였습니다.</p>