진공 챔버 내에서 가열하는 것을 그만두세요. 만약 진공 챔버 내부의 웨이퍼나 기판을 가열해보신 적이 있다면, 그 어려움을 잘 아실 것입니다. 목표물을 충분히 가열하면서도 챔버 벽이 과도하게 가열되는 것을 막아야 합니다. 일반적인 IR 램프는 사실상 강화된 형태의 전구...

진공 챔버를 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 가열하세요. 반도체 공장에서 일해본 사람이라면 이 문제를 잘 알 것입니다. 웨이퍼의 온도를 높여야 하지만, 전체 챔버가 오븐처럼 변하는 것은 원하지 않습니다. 일반적인 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다....