http://patio-ir-master.com/ko/tags/%EC%B2%98%EB%A6%AC/ Recent content in 처리 on Patio Infrared Heating Masters Hugo ko Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="광학 웨이퍼 가열기"></p> <p>리소그래피 작업장에서 300 mm 웨이퍼는 코팅에서 베이크까지 라인의 택트에 맞춰 흐른다. 소프트 베이크는 90 °C, 하드 베이크는 110 °C다. 포토레지스트는 로트별로 동일한 동작을 해야 한다. 열 프로파일이 벗어나면 즉시 대가를 치른다: CD 편차, 접착 불량, 브릿지 결함—그리고 재작업. 히터는 단순한 배경 장치가 아니다. 포토레지스트 열 예산을 조절하는 제어 장치다.</p>