세라믹 적외선 히터 패널

웨이퍼가 놓이는 표면에서는, 적절한 온도 프로파일이 포토레지스트의 치수와 측벽 형태를 안정적으로 유지시켜 줍니다. 온도가 0.5도만 변해도 선의 너비에 오차가 생기게 되며, 이는 에칭 과정에 직접적인 영향을 미칩니다. 저희는 이러한 변수들을 없애기 위해 특수한 세라믹...