http://patio-ir-master.com/ko/tags/%ED%8F%AC%ED%86%A0%EB%A0%88%EC%A7%80%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포토레지스트 on Patio Infrared Heating Masters Hugo ko Mon, 29 Jun 2026 02:44:27 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Mon, 29 Jun 2026 02:44:27 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="포토레지스트용 최고의 적외선 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 소성 온도가 1°C만 변해도 치명적인 차이가 생길 수 있습니다. 이 정도의 변화만으로도 전체 제품 묶음이 폐기될 수 있습니다. ‘소프트 베이크’는 포토레지스트의 형태를 설정하는 역할을 하고, ‘하드 베이크’는 그 형태를 고정시키는 역할을 합니다. 하지만 웨이퍼 전체에 걸쳐 온도가 균일하지 않다면, 이러한 과정들은 아무런 효과가 없습니다.</p>