http://patio-ir-master.com/ko/tags/%ED%95%A0%EB%A1%9C%EA%B2%90/ Recent content in 할로겐 on Patio Infrared Heating Masters Hugo ko Wed, 03 Jun 2026 01:23:11 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/rtp-halogen-lamp-replacement/ Wed, 03 Jun 2026 01:23:11 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/rtp-halogen-lamp-replacement/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="RTP 할로겐 램프 교체"></p> <p>Fab 라인에서 RTP 챔버 내 단 한 번의 열 변동은 열 예산을 순식간에 소진시킬 수 있다. 포토레지스트 프로파일이 불안정해지고, 라인 폭 제어가 흔들리며, 수율에 영향을 준다. 우리는 이러한 불확실성을 제거하고 사이클마다 반복 가능한 열을 제공하기 위해 RTP 할로겐 램프 대체품을 개발했다.</p>