진공 챔버용 적외선 히터

진공 챔버 내에서 가열하는 것을 그만두세요. 만약 진공 챔버 내부의 웨이퍼나 기판을 가열해보신 적이 있다면, 그 어려움을 잘 아실 것입니다. 목표물을 충분히 가열하면서도 챔버 벽이 과도하게 가열되는 것을 막아야 합니다. 일반적인 IR 램프는 사실상 강화된 형태의 전구...