http://patio-ir-master.com/ko/tags/%ED%9B%8C%EB%A5%AD%ED%95%B4%EC%9A%94/ Recent content in 훌륭해요 on Patio Infrared Heating Masters Hugo ko Wed, 17 Jun 2026 11:24:53 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/polyimide-curing-for-wafer-fab/ Wed, 17 Jun 2026 11:24:53 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/polyimide-curing-for-wafer-fab/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="웨이퍼 제조를 위한 폴리이미드 경화 공정"></p> <p>제조 현장에서 폴리이미드의 경화 과정은 단순히 체크해야 할 단계가 아닙니다. 이는 반드시 관리해야 하는 열적 조건입니다. 몇 도라도 온도 제어에 실패하면, 웨이퍼의 표면이 고르지 않아지거나, 접착력이 약해지거나, 웨이퍼가 변형될 수 있습니다. 오늘날의 공정 환경에서는 그런 실수를 용납할 여지가 전혀 없습니다.</p> http://patio-ir-master.com/ko/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Wed, 10 Jun 2026 01:45:41 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="파브 IR 램프용 쿼츠 슬리브"></p> <p>팹 플로어에서 작업할 때는 절차를 잘 알고 있을 것입니다. 90°C에서의 소프트 베이크가 0.5도만 벗어나도 포토레지스트 프로파일에 영향을 주고 CD 제어가 흔들립니다. IR 램프 주변의 석영 슬리브는 단순한 덮개가 아니라 모든 베이크 공정 단계에서 반복성을 확보하는 열 인터페이스 역할을 합니다.</p>