http://patio-ir-master.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Patio Infrared Heating Masters Hugo ko Tue, 21 Jul 2026 02:00:46 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 21 Jul 2026 02:00:46 +0800 http://patio-ir-master.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>MEMS 웨이퍼를 손상시키지 않고 건조시키는 방법<br> MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 수분을 제거하기 위해서는 열이 필요하며, 그 열도 빠르게 공급되어야 합니다. 하지만 주의하지 않으면, 이 작고 섬세한 미세 구조들이 손상될 수 있습니다.<br> 이 문제를 해결하기 위해 우리는 특수한 적외선 히터를 사용합니다. 하지만 진짜 비결은 바로 금으로 코팅된 반사체입니다. 이 반사체 덕분에 에너지가 기계 내부가 아닌 웨이퍼 자체에 직접 전달됩니다.</p>