http://patio-ir-master.com/ms/tags/lanjutan/ Recent content in Lanjutan on Patio Infrared Heating Masters Hugo ms Mon, 08 Jun 2026 02:38:31 +0800 http://patio-ir-master.com/ms/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Mon, 08 Jun 2026 02:38:31 +0800 http://patio-ir-master.com/ms/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Pemanasan zon untuk pembuatan wafer maju"></p> <p>Pada tingkat litografi, perubahan suhu sebanyak 0.3°C merentasi wafer <a href="https://henruite.com">semasa</a> soft bake boleh mengalihkan profil photoresist sehingga nanometer—dan itulah perbezaan antara hasil yang diterima dan sisa. Kami membangunkan pemanasan zon untuk fabrikasi wafer lanjutan bagi menghapuskan ketidakpastian tersebut.</p> <p><strong>Apa yang penting, secara teknikal</strong><br> Sistem ini menggunakan pemancar <a href="https://o-yate.net">kuarza</a> halogen gelombang pendek dengan kawalan zon bebas, jadi ia bertindak balas dengan cepat dan mengekalkan keseragaman tahap wafer pada ±0.1°C merentasi setpoint dari 90°C hingga 250°C. Kebolehulangan tembakan-ke-tembakan berada pada ±0.05°C, yang bermakna langkah kritikal pemanggangan anda—soft bake, hard bake, dan post-exposure bake—tetap pada spesifikasi tanpa perlu memburu variasi.</p>