http://patio-ir-master.com/ms/tags/optikal/ Recent content in Optikal on Patio Infrared Heating Masters Hugo ms Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/ms/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/ms/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Pemanas pemprosesan wafer optik"></p> <p>Di lantai litografi, wafer 300 mm bergerak dari proses coat ke bake selaras dengan takt garis pengeluaran. Soft bake pada 90 °C, hard bake pada 110 °C. Photoresist mesti berfungsi dengan cara yang sama, lot demi lot. Apabila profil terma berubah, kesannya segera dirasai: pergeseran CD, lekatan yang lemah, kecacatan jambatan—kemudian perlu rework. Pemanas bukan sekadar kotak biasa di latar belakang. Ia adalah tombol kawalan bagi bajet terma photoresist.</p> <p>Pemanas pemprosesan wafer optik dibina untuk kawalan tersebut. Ia menyediakan pemanasan pantas, sentuhan rendah atau tanpa sentuhan dengan uniformiti dan kebolehulangan yang ketat, supaya langkah bake tidak menjadi sumber variabiliti.</p>