Penggantian lampu halogen RTP

Wed, 03 Jun 2026 01:23:11 +0800

Di lantai pembuatan, satu lonjakan suhu dalam ruang RTP boleh menghabiskan bajet terma anda dalam sekelip mata. Profil photoresist mula berubah. Kawalan lebar garis menjadi tidak konsisten. Hasil pengeluaran terjejas. Kami membina pengganti lampu halogen RTP kami untuk menghapuskan ketidakpastian itu dan memberikan panas yang boleh diulang, kitaran demi kitaran.
Berikut adalah komponen di dalamnya. Lampu ini menggunakan pemancar halogen gelombang pendek di dalam sampul kuarza, ditala untuk tindak balas radiasi yang cepat. Kami memetakan output merentasi susunan zon untuk menyerasikan geometri ruang, mensasarkan keseragaman tahap wafer ±0.1°C. Dalam bilik bersih Kelas 1–100, reka bentuk dengan pelepasan gas rendah menghalang lonjakan jumlah zarah semasa proses pembakaran dan anneal. Penebat gentian karbon mengunci haba, mengurangkan penggunaan kuasa semasa bersedia, dan memendekkan masa pemanasan. Output kekal stabil lebih 5,000 jam, dengan penyimpangan intensiti kurang daripada 5%, supaya nilai Cpk proses tidak terjejas.
Pembakaran lembut dan pembakaran keras bergantung sepenuhnya pada kawalan terma yang ketat — tumpang tindih litografi bergantung kepadanya. Pengganti ini mengekalkan suhu photoresist dalam spesifikasi, setiap kali, merentasi keseluruhan lot. Anda akan melihat penggunaan tenaga berkurang apabila pemanasan dan penyejukan dipercepatkan, tanpa mengorbankan ketepatan suhu. Ia direka untuk beroperasi 24/7, bermakna kurang kejutan dan kos per wafer yang diproses lebih rendah.
Sebelum penukaran, padankan jejak tapak, orientasi terminal, dan voltan kepada soket lampu sedia ada anda. Selepas pertukaran, sahkan kalibrasi ruang; keseragaman yang lebih ketat boleh menggeser titik set. Jangka masa pemanasan ke keseimbangan terma mungkin sedikit lebih lama semasa pertukaran pertama. Rancang satu larian pengesahan singkat untuk mengunci semula tingkap proses.

Penggantian on Patio Infrared Heating Masters

Penggantian lampu halogen RTP