Stop met het verliezen van uw wafers door defecte lampen
Als u met hoge productiesnelheden wafers maakt, kent u vast dit nachtmerriescenario: een lamp gaat kapot. Eenvoudig, toch?
Maar als de kwartsbuis echt barst, zit u in de problemen. Glasdeeltjes en halogeengas vliegen overal heen, waardoor uw wafers worden besmet en de hele batch in seconden tijd wordt vernietigd. Het is een complete ramp.
Wij hebben speciaal IR-lampen ontworpen voor onze schone ruimtes, om dit te voorkomen.
De “veiligheidsnet” voor uw kwarts
We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid – met een wanddikte die bestand is tegen thermische schokken. Maar dat is nog niet alles.
We omhullen de buizen met een hittebestendige, chemisch inert materiaal. Denk er maar aan als een soort veiligheidskokon. Als het filament kapotgaat en de buis barst, vangt deze omhulling de schade op. U heeft dan nog steeds een kapotte lamp die vervangen moet worden, maar uw wafers blijven veilig. Dat is een goede afweging.
Het probleem van de hitte
Het plaatsen van lampen met hoge vermogens in een beperkte ruimte leidt tot veel hitte. Het is een kwestie van balans.
Als u de spanning te hoog instelt om sneller de gewenste temperatuur te bereiken, beschadigt u het filament. Hierdoor ontstaan er hete plekken, wat juist weer leidt tot premature defecten. Zorg ervoor dat de stroomvoorziening precies is aangepast aan de vereiste spanning van de lamp. Uw apparatuur zal het u danken.
Houd alles stevig vast
We gebruiken gestandaardiseerde verbindingen, want losse verbindingen zijn gevaarlijk. Als een verbinding niet goed is aangesloten, kan er kortsluiting optreden. Dit kan leiden tot beschadiging van de lampen.
En nog een tip: wacht niet tot de lamp kapotgaat. Stel een vaste vervangingsregeling in, gebaseerd op uw productietijd. Het is veel gemakkelijker om zelf de lamp te vervangen dan om later de chaos op te ruimen tijdens de productie.
Eén klein nadeel…
Omdat de beschermende omhulling in de weg zit, wordt er een klein beetje van de infraroodstraling geblokkeerd. U merkt misschien een lichte daling in de temperatuur.
Om dit op te lossen, kunt u de spanning met 5-10% verhogen of de wafers iets langer in de lamp laten zitten. Het is een kleine aanpassing, maar het is de moeite waard om zeker te weten dat uw schone ruimte echt steriel blijft.