http://patio-ir-master.com/nl/tags/optisch/ Recent content in Optisch on Patio Infrared Heating Masters Hugo nl Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/nl/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/nl/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Optische waferverwerkingsverwarmer"></p> <p>Op de lithografievloer stroomt een 300 mm wafer synchroon met de takt van de lijn van coat naar bake. Soft bake bij 90 °C, hard bake bij 110 °C. De fotoresist moet dezelfde eigenschappen vertonen, lot na lot. Wanneer het thermisch profiel afwijkt, betaal je dat direct: CD-verschuiving, slechte hechting, brugdefecten—en dan herbewerkingen. De heater is niet zomaar een onderdeel op de achtergrond. Het is de regelknop voor het thermisch budget van de fotoresist.</p> <p>Optische heaters voor waferverwerking zijn ontworpen voor die controle. Ze leveren snelle, laag-contact of contactloze verwarming met strikte uniformiteit en herhaalbaarheid, zodat de bake-stap geen bron van variabiliteit wordt.</p>