http://patio-ir-master.com/pl/tags/optyczny/ Recent content in Optyczny on Patio Infrared Heating Masters Hugo pl Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/pl/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/pl/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Podgrzewacz do optycznej obróbki wafli"></p> <p>Na hali litografii, plaster 300 mm przechodzi z procesu powlekania do wypalania w ścisłej synchronizacji z taktem linii. Wypalanie miękkie w 90 °C, wypalanie twarde w 110 °C. Fotorezyst musi zachowywać się identycznie, partia po partii. Gdy profil termiczny się przesuwa, płacisz za to od razu: przesunięcie wymiarów krytycznych (CD), słaba adhezja, defekty mostkowe — a potem poprawki. Grzałka to nie kolejna skrzynka w tle. To regulator sterujący budżetem termicznym fotorezystu.</p> <p>Optyczne grzałki do obróbki plastrów są zaprojektowane właśnie do takiej kontroli. Dostarczają szybkie, niskokontaktowe lub bezkontaktowe ogrzewanie z wysoką jednorodnością i powtarzalnością, dzięki czemu etap wypalania nie staje się źródłem zmienności.</p>