http://patio-ir-master.com/pt/tags/%C3%B3ptico/ Recent content in Óptico on Patio Infrared Heating Masters Hugo pt Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/pt/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/pt/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Aquecedor de processamento óptico de wafers"></p> <p>No piso de litografia, uma pastilha de 300 mm segue do processo de coating ao bake sincronizada com o takt da linha. Soft bake a 90 °C, hard bake a 110 °C. O fotoresiste deve se comportar da mesma forma, lote após lote. Quando o perfil térmico deriva, o custo é imediato: desvio de CD, má adesão, defeitos de ponte — e depois retrabalho. O aquecedor não é apenas mais uma caixa ao fundo. É o controle principal no orçamento térmico do fotoresiste.</p>