Manga de quartzo para lâmpada IR de fab.

Wed, 10 Jun 2026 01:45:40 +0800

Out here na fábrica, você conhece o procedimento. Um bake suave a 90°C que oscile meio grau já altera o perfil do fotoresiste e compromete o controle de CD. A manga de quartzo em torno da lâmpada IR não é apenas uma proteção — é a interface térmica que assegura a repetibilidade em cada etapa do bake.

O que importa no funcionamento interno

Especificamos essas mangas para lâmpadas IR de onda curta e média, compatibilizando com o espectro necessário para o aquecimento rápido e uniforme do wafer. O material é quartzo fundido de alta pureza, escolhido por sua forte transmissão no NIR e baixa emissão de gases em salas limpas Classe 1–100. O objetivo é uniformidade térmica ao nível do wafer de ±0,1°C na superfície do bake — mantém a variação da largura de linha controlada e reduz retrabalho.

Manga on Patio Infrared Heating Masters

Manga de quartzo para lâmpada IR de fab.