http://patio-ir-master.com/ru/tags/%D0%B7%D0%BE%D0%BD%D0%BD%D1%8B%D0%B9/ Recent content in Зонный on Patio Infrared Heating Masters Hugo ru Mon, 08 Jun 2026 02:38:31 +0800 http://patio-ir-master.com/ru/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Mon, 08 Jun 2026 02:38:31 +0800 http://patio-ir-master.com/ru/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Зональное отопление для продвинутой фабрики по производству полупроводниковых пластин"></p> <p>На литографическом этаже смещение температуры на 0,3°C по поверхности пластины во время мягкой сушки может сместить профиль фоторезиста на нанометры — а это решает, получится ли брак или выход годной продукции. Мы разработали зональное нагревание для современных заводов по производству пластин, чтобы исключить эту неопределённость.</p> <p><strong>Что важно с технической точки зрения</strong><br> Система работает на кварцевых излучателях коротковолнового галогенного типа с независимым управлением зон, что обеспечивает быструю реакцию и удержание однородности температуры по пластине на уровне ±0,1°C в диапазоне установок от 90°C до 250°C. Повторяемость от прокаливания к прокаливанию составляет ±0,05°C, что позволяет соблюдать критические этапы сушки — мягкую сушку, жёсткую сушку и сушку после экспозиции — без отклонений от заданных параметров.</p>