http://patio-ir-master.com/ru/tags/%D0%BE%D0%B1%D1%80%D0%B0%D0%B1%D0%BE%D1%82%D0%BA%D0%B0/ Recent content in Обработка on Patio Infrared Heating Masters Hugo ru Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/ru/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/ru/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Оптический нагреватель для обработки пластин"></p> <p>На литографическом этаже 300 мм пластина проходит этапы нанесения покрытия и запекания в точном соответствии с тактом линии. Мягкий запек при 90 °C, твердый запек при 110 °C. Фоторезист должен вести себя одинаково из партии в партию. При смещении температурного профиля плата приходит немедленно: сдвиг критического размера (CD), плохая адгезия, дефекты мостиков — затем доработка. Нагреватель — это не просто еще одна коробка на заднем плане. Это регулятор теплового бюджета фоторезиста.</p> <p>Оптические нагреватели для обработки пластин разработаны именно для такого контроля. Они обеспечивают быстрый нагрев с низким контактом или безконтактный нагрев с высокой однородностью и повторяемостью, чтобы этап запекания не стал источником вариативности.</p>