การรักษาความสะอาดของแผ่นวาเฟอร์: เหตุใดการออกแบบหลอดไฟจึงมีความสำคัญ
ในโรงงานผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ การที่หลอดไฟเสียหายถือเป็นเรื่องใหญ่มาก ไม่ใช่แค่เรื่องของเวลาที่หยุดการทำงานเท่านั้น แต่ยังรวมถึงผลที่จะเกิดขึ้นต่อไปด้วย หากหลอดควอตซ์แตกขณะที่มีความร้อนสูง ก็จะมีเศษแก้วและโลหะที่ระเหยมากระทบกับแผ่นวาเฟอร์ ซึ่งจะทำให้แผ่นวาเฟอร์เสียหายทันที
เราออกแบบหลอดไฟ IR ที่ทำจากไฟเบอร์คาร์บอนขึ้นมาเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดเหตุการณ์ดังกล่าวขึ้น
การรับมือกับความร้อน
หลอดไฟเหล่านี้มักจะเสียหายเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงกระแสไฟอย่างรวดเร็ว การที่มีกระแสไฟสูงไหลเข้ามาที่ตรงกลางของหลอด ทำให้ส่วนปลายของหลอดมีอุณหภูมิต่ำกว่า ซึ่งจะก่อให้เกิดแรงดันทางกลมากมาย
เพื่อแก้ปัญหานี้ เราใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งมีอัตราการขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก นั่นหมายความว่าหลอดจะสามารถทนต่อความร้อนสูงได้โดยไม่แตก
นอกจากนี้ เรายังใช้ไฟเบอร์คาร์บอนแทนทังสเตน เพราะไฟเบอร์คาร์บอนสามารถทนต่อความร้อนได้ดีกว่า และจะไม่แตกเมื่อมีแรงดันไฟฟ้าสูงเกินไป นอกจากนี้ เรายังให้ความสำคัญกับการปรับแรงดึงของไส้หลอดด้วย หากไส้หลอดหย่อนลง ก็จะเกิดจุดร้อนขึ้น และจุดร้อนเหล่านี้ก็จะทำให้หลอดแตกได้
การป้องกันเศษสิ่งสกปรก
เราใช้วิธีสองขั้นตอนเพื่อป้องกันไม่ให้เศษสิ่งสกปรกเข้าไปในแผ่นวาเฟอร์ ขั้นตอนแรกคือการปิดผนึกส่วนภายในของหลอดด้วยสภาวะสุญญากาศสูง เพื่อกำจัดสิ่งสกปรกที่อยู่ภายใน
สำหรับสภาพการทำงานที่มีภาระสูง เรายังมีการใช้ฝาป้องกันภายนอกอีกด้วย ซึ่งก็เหมือนกับการมี “ประกัน” หากหลอดหลักเสียหาย ฝาป้องกันนี้จะช่วยกักเก็บเศษสิ่งสกปรกไว้
แต่ก็มีข้อเสียอยู่เหมือนกัน นั่นคือ การมีชั้นแก้วเพิ่มเข้ามาจะทำให้การส่งผ่านแสง IR ลดลงเล็กน้อย คุณอาจจำเป็นต้องปรับระดับกระแสไฟให้สูงขึ้นเพื่อให้พื้นผิวของแผ่นวาเฟอร์มีอุณหภูมิตามที่ต้องการ
เรื่องเล็กๆ น้อยๆ ที่มีความสำคัญ
เราใช้ฝาปิดส่วนปลายของหลอดเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดการลัดวงจรไฟฟ้า หากเกิดการลัดวงจร ก็จะเกิดจุดร้อนขึ้น ซึ่งจะทำให้ควอตซ์เสียหายได้
อย่าลืมตรวจสอบสายไฟให้แน่นหนาด้วย และอย่าลืมตรวจสอบพัดลมระบายความร้อนด้วย หากระบบระบายความร้อนล้มเหลว ไม่มีวัสดุป้องกันใดที่จะช่วยได้เลย