การทำให้โพลีอิมิดเซ็ตตัวสำหรับการผลิต Wafer

Wed, 17 Jun 2026 11:24:53 +0800

ในกระบวนการผลิต การทำให้โพลีอิมิด์แข็งตัวไม่ใช่ขั้นตอนที่สามารถเพิกเฉยได้ เพราะเป็นเรื่องของการควบคุมอุณหภูมิ หากอุณหภูมิไม่ถูกควบคุมให้อยู่ในช่วงที่กำหนด ก็จะส่งผลให้การเคลือบผิววงจรไม่สมบูรณ์ การยึดเกาะของวัสดุอ่อนแอลง หรือเกิดแรงดันที่ทำให้วงจรบิดเบี้ยวได้ ในยุคปัจจุบัน ไม่มีที่ว่างสำหรับข้อผิดพลาดเหล่านี้เลย

สิ่งที่สำคัญจริงๆ การทำให้โพลีอิมิด์แข็งตัวต้องอาศัยความร้อนที่มีความเสถียรและสามารถควบคุมได้ โดยเราจะควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C เพื่อให้ฟิล์มได้รับความร้อนที่เท่ากันตั้งแต่ขอบหนึ่งไปจนถึงอีกขอบหนึ่ง การใช้ความร้อนจากรังสีอินฟราเรดชนิดคลื่นสั้นช่วยให้เวลาในการทำให้โพลีอิมิด์แข็งตัวลดลง และยังช่วยป้องกันไม่ให้เกิดจุดร้อนขึ้นอีกด้วย

การออกแบบระบบนี้ยังคำนึงถึงความเข้ากันได้กับห้องปลอดฝุ่นระดับ 1–100 โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย มีการปิดผนึกห้องอย่างดี และมีระบบกรองอากาศภายใน เพื่อให้จำนวนอนุภาคอยู่ในระดับที่คงที่ตลอดกระบวนการผลิต การไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลยไม่ใช่เพียงแค่สโลแกนเท่านั้น แต่เป็นข้อกำหนดที่เราต้องปฏิบัติตาม โดยมีการตรวจสอบตลอดเวลา

เหตุใดระบบนี้จึงมีประสิทธิภาพ ระบบเดียวกันนี้สามารถใช้ในการทำให้วงจรแห้ง การอบวัสดุโฟโตเรซิสต์ การบรรจุวงจร และการทำให้วงจรแห้งหลังการทำความสะอาดได้ โดยไม่จำเป็นต้องปรับค่าอุณหภูมิใหม่อีก การควบคุมอุณหภูมิการอบวัสดุโฟโตเรซิสต์ได้อย่างแม่นยำจะช่วยให้สามารถควบคุมความแม่นยำของวงจรได้ดีขึ้น และทำให้รูปร่างของวงจรมีความสม่ำเสมอมากขึ้น

ความสม่ำเสมอในแต่ละรอบการผลิตช่วยลดของเสียและการปรับแก้งาน ช่วยให้เวลาในการผลิตลดลง และช่วยให้ได้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสูงขึ้น นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะรังสีอินฟราเรดช่วยให้ฟิล์มร้อนขึ้นโดยตรง ไม่ใช่ผนังห้อง ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีการบำรุงรักษาที่สามารถวางแผนได้ล่วงหน้า ไม่ต้องกังวลเรื่องเวลาหยุดทำงาน

สิ่งที่ควรคำนึงถึง การใช้รังสีอินฟราเรดนั้นต้องมีการมองเห็นเส้นทางการส่งความร้อน ดังนั้นความสูงของชั้นวัสดุและค่าการแผ่รังสีจึงมีความสำคัญ เราจะมีการทดสอบเล็กๆ เพื่อกำหนดค่าอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับความหนาของโพลีอิมิด์และชั้นวัสดุอื่นๆ ที่อยู่ด้านล่าง

ระบบนี้มีขนาดกะทัดรัด และสามารถติดตั้งได้ง่าย แต่ควรเตรียมสายไฟ ระบบระบายอากาศ และอุปกรณ์เชื่อมต่อกับห้องปลอดภายล่วงหน้า เพื่อไม่ให้เกิดปัญหาขณะติดตั้ง

แผ่นวีเฟอร์ on Patio Infrared Heating Masters

การทำให้โพลีอิมิดเซ็ตตัวสำหรับการผลิต Wafer