RTP halojen lamba değişimi

Wed, 03 Jun 2026 01:23:11 +0800

Fabrika katında, RTP odasındaki tek bir termal sapma, termal bütçenizi anında tüketebilir. Fotoresist profilleri kaymaya başlar. Hat genişliği kontrolü sapar. Verim düşer. Bu belirsizliği ortadan kaldırmak ve döngü döngü tekrarlanabilir ısı sağlamak için RTP halojen lamba yedeklememizi geliştirdik.
Kasanın altında ne var, bakalım. Lamba, hızlı, radyant tepki için ayarlanmış kuvars zarf içinde kısa dalga halojen yayıcılar kullanır. Oda geometrisine uyacak şekilde bölge dizisi boyunca çıkışı haritalıyoruz ve ±0.1°C wafer seviyesinde uniformite hedefliyoruz. Temiz oda Class 1–100 standartlarında, düşük gaz çıkışı tasarımı pişirme ve tavlama sırasında partikül sayısının artmasını engeller. Karbon fiber yalıtım ısıyı hapseder, bekleme gücünü düşürür ve ısı artış sürelerini kısaltır. Çıkış, 5.000+ saatin üzerinde %5’ten az yoğunluk sapması ile stabil kalır, böylece proses Cpk değerleri etkilenmez.
Soft bake ve hard bake işlemleri sıkı termal kontrolle yaşar ve ölür — litografi örtüşme buna bağlıdır. Bu yedek, fotoresist sıcaklığını her seferinde, tüm partide spesifikasyonda tutar. Isınma ve soğuma hızlandıkça enerji tüketimi düşer; sıcaklık doğruluğundan ödün verilmez. 7/24 çalışacak şekilde tasarlanmıştır; bu da daha az sürpriz ve işlenen wafer başına daha düşük maliyet anlamına gelir.
Değişim yapmadan önce, taban ayak izini, terminal yönünü ve voltajı mevcut lamba soketinize uyacak şekilde eşleştirin. Değişiklik sonrası oda kalibrasyonunu doğrulayın; daha sıkı uniformite setpoint’i etkileyebilir. İlk değişim sırasında termal dengeye ulaşma süresinin biraz daha uzun olmasını bekleyin. Proses penceresini yeniden kilitlemek için kısa bir kalifikasyon çalışması planlayın.

Değiştirme on Patio Infrared Heating Masters

RTP halojen lamba değişimi